德國(guó)PI Physik Instrumente 光學(xué)實(shí)驗(yàn)位移臺(tái) 壓電陶瓷掃描器 納米定位平臺(tái) P-752

P-752 高精度納米定位平臺(tái)

應(yīng)用領(lǐng)域：

掃描顯微鏡

測(cè)量技術(shù)

測(cè)試程序和質(zhì)量保證

光子

光纖定位

產(chǎn)品參數(shù)：

型號(hào)：P-752.11C

主動(dòng)軸：X

集成傳感器：電容式

-20至+120伏時(shí)的開環(huán)行程：20微米

行程，閉環(huán)：15微米

分辨率，開環(huán)/閉環(huán)：0.1納米

線性誤差，閉環(huán)：0.03%

重復(fù)精度：±1納米

螺距/偏轉(zhuǎn)角：±1微弧度

運(yùn)動(dòng)方向上的剛性：30牛/微米

諧振頻率，空載：3200赫茲

帶300 克負(fù)載時(shí)的諧振頻率：980赫茲

運(yùn)動(dòng)方向上的推/拉力：100 / 10牛

負(fù)載容量：30牛

型號(hào)：P-752.1CD

主動(dòng)軸：X

集成傳感器：電容式

-20至+120伏時(shí)的開環(huán)行程：20微米

行程，閉環(huán)：15微米

分辨率，開環(huán)/閉環(huán)：0.1納米

線性誤差，閉環(huán)：0.03%

重復(fù)精度：±1納米

螺距/偏轉(zhuǎn)角：±1微弧度

運(yùn)動(dòng)方向上的剛性：30牛/微米

諧振頻率，空載：3200赫茲

帶300 克負(fù)載時(shí)的諧振頻率：980赫茲

運(yùn)動(dòng)方向上的推/拉力：100 / 10牛

負(fù)載容量：30牛

型號(hào)：P-752.21C

主動(dòng)軸：X

集成傳感器：電容式

-20至+120伏時(shí)的開環(huán)行程：35微米

行程，閉環(huán)：30微米

分辨率，開環(huán)/閉環(huán)：0.2納米

線性誤差，閉環(huán)：0.03%

重復(fù)精度：±2納米

螺距/偏轉(zhuǎn)角：±1微弧度

運(yùn)動(dòng)方向上的剛性：20牛/微米

諧振頻率，空載：2100赫茲

帶300 克負(fù)載時(shí)的諧振頻率：600赫茲

運(yùn)動(dòng)方向上的推/拉力：100 / 10牛

負(fù)載容量：30牛

型號(hào)：P-752.2CD

主動(dòng)軸：X

集成傳感器：電容式

-20至+120伏時(shí)的開環(huán)行程：35微米

行程，閉環(huán)：30微米

分辨率，開環(huán)/閉環(huán)：0.2納米

線性誤差，閉環(huán)：0.03%

重復(fù)精度：±2納米

螺距/偏轉(zhuǎn)角：±1微弧度

運(yùn)動(dòng)方向上的剛性：20牛/微米

諧振頻率，空載：2100赫茲

帶300 克負(fù)載時(shí)的諧振頻率：600赫茲

運(yùn)動(dòng)方向上的推/拉力：100 / 10牛

負(fù)載容量：30牛

德國(guó)PI Physik Instrumente 光學(xué)實(shí)驗(yàn)位移臺(tái) 壓電陶瓷掃描器 納米定位平臺(tái) P-752