Piezoconcept 納米定位器三軸LFHS2技術(shù)參數(shù)

產(chǎn)品簡介

LFHS2是一款2軸超高速納米精密定位器，沿X和Y方向的行程范圍可達75米，具有66毫米x 66mm毫米的大孔徑，兩軸的諧振頻率均高于2kHz。如果需要，它還可以與集成的Z軸(50米行程范圍)一起使用(參見3軸型號LFHS3).

這種壓電載物臺可以與粗定位微載物臺結(jié)合使用(參見我們的混合系統(tǒng)).

這種納米定位器是我們高速產(chǎn)品線的一部分(高功率控制器可用)。利用高功率控制器，高速掃描和短于2毫秒的階躍響應(yīng)時間是可能的。

產(chǎn)品參數(shù):

產(chǎn)品參數(shù)：

運動范圍（um）:30

分辨率（nm）:0.03

噪聲下限（nm典型值）0.003

重復性（nm）:0.06

線性化（典型值共振頻率（Hz）:0.02%

線性化:0.02%

剛度（N/um）0.6

傳感器尺寸Wx L x H（mm）:120.8x120.7x28.5

材料電纜長度（m）:2

控制器最大負載:1

水平使用垂直使用:0.5

諧振頻率XY（Hz）:3000/2000

剛度XY（N/um）:4/3

Piezoconcept 納米定位器三軸LFHS2技術(shù)參數(shù)